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研討會
以動態極化掃描法檢測直流濺鍍AIN薄膜孔隙度
以動態極化掃描法檢測直流濺鍍AIN薄膜孔隙度
姜庭隆
工學院
機械工程系
副教授
7005
tchiang@mail.npust.edu.tw
年份
2009
作者
熊京民
*,
姜庭隆
, 侯翔詠
Author count
3
Created date
2019-02-19
作者順序
2
通訊作者
false
發表年份
2009
會議名稱
精密機械與製造科技研討會
舉行之國家
中華民國
開始日期
2009-05-23
結束日期
2009-05-23
審稿制度
否
發表語言
中文