壓電氣體感測器之氮化鋁薄膜沉積

壓電氣體感測器之氮化鋁薄膜沉積

洪廷甫

工學院車輛工程系材料工程系先進材料學士學位學程

教授 7558 tfhong@mail.npust.edu.tw

年份	2009
作者	黃豐寅, 陳湧濠, 蘇于豪, 劉彥孝, 李佳言, 洪廷甫*
Author count	6
Created date	2019-02-19
作者順序	4
通訊作者	false
發表年份	2009
會議名稱	『屏東科技大學』暨『北京科技大學』第四屆學術交流研討會
舉行之國家	中華民國
開始日期	2009-11-06
結束日期	2009-11-06
審稿制度	否
發表語言	中文