不同氧/氬流量比對陰極電弧電漿系統沉積ZnO透明導電薄膜之微結構及電性影響

不同氧/氬流量比對陰極電弧電漿系統沉積ZnO透明導電薄膜之微結構及電性影響

熊京民

工學院機械工程系

教授 hsiung@mail.npust.edu.tw

年份	2009
作者	熊京民, 楊茹媛*, 黃俊智, 翁敏航, 張守進
Author count	5
Created date	2019-02-19
作者順序	1
通訊作者	false
發表年份	2009
會議名稱	中國材料科學學會2009年會
舉行之城市	台東
舉行之國家	中華民國
開始日期	2009-11-26
結束日期	2009-11-26
審稿制度	否
發表語言	中文