雙靶射頻磁控濺鍍透明導電AZO/Al/AZO多層膜結構的特性研究

雙靶射頻磁控濺鍍透明導電AZO/Al/AZO多層膜結構的特性研究

熊京民

工學院機械工程系

教授 hsiung@mail.npust.edu.tw

年份	2010
作者	熊京民*, 楊茹媛, ,
Author count	4
Created date	2019-02-19
作者順序	1
通訊作者	false
發表年份	2010
會議名稱	2010奈米技術與材料研討會
會議結束頁碼	70
舉行之城市	彰化
舉行之國家	中華民國
開始日期	2010-12-17
結束日期	2010-12-17
審稿制度	否
發表語言	中文