Fabrication and Characterization of MEMS-based Flow Sensors Based on Hot Films
教授
08-7703202#7561、(L)7565
leecy@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2010 |
| 作者 | 馬榮華, 王禹翔, 江昇霖, 蔡耀文, 李佳言* |
| Author count | 5 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 4 |
| 通訊作者 | false |
| 發表年份 | 2010 |
| 會議名稱 | Symposium on Design, Test, Integration and Package of MEMS/MOEMS |
| 舉行之城市 | Seville |
| 舉行之國家 | 中華民國 |
| 開始日期 | 2010-05-06 |
| 結束日期 | 2010-05-06 |
| 審稿制度 | 否 |
| 發表語言 | 外文 |