多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究

多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究

Associate Professor       chungti@mail.npust.edu.tw
Year2003
Author
Created date2019-02-19
Author order4
Corresponding authorfalse
Publication year2003
Symposium name中國機械工程師學會第二十屆機械工程研討會論文集
Publication country中華民國
Start date2003-12-01
End date2003-12-01
Review system
LanguageTraditional Chinese