不同氧/氬流量比對陰極電弧電漿系統沉積ZnO透明導電薄膜之微結構及電性影響

不同氧/氬流量比對陰極電弧電漿系統沉積ZnO透明導電薄膜之微結構及電性影響

Professor       hsiung@mail.npust.edu.tw
Year2009
Author熊京民, 楊茹媛*, , ,
Author count5
Created date2019-02-19
Author order1
Corresponding authorfalse
Publication year2009
Symposium name中國材料科學學會2009年會
Publication city台東
Publication country中華民國
Start date2009-11-26
End date2009-11-26
Review system
LanguageTraditional Chinese