直流磁控濺鍍系統沉積鎳鉻矽薄膜之研究

直流磁控濺鍍系統沉積鎳鉻矽薄膜之研究

Year2010
Author, 李英杰*,
Author count3
Created date2019-02-19
Author order2
Corresponding authorfalse
Publication year2010
Symposium name2010年能源與光電薄膜科技研討會, 台灣鍍膜科技協會年會(AMTACT 2010)
Publication city彰化
Publication country中華民國
Start date2010-12-10
End date2010-12-10
Review system
LanguageTraditional Chinese