利用射頻磁控濺鍍系統沉積摻雜不同的銅含量於鈦酸鋅膜中之相變化及微結構研究

利用射頻磁控濺鍍系統沉積摻雜不同的銅含量於鈦酸鋅膜中之相變化及微結構研究

Year2010
Author李英杰*, , ,
Author count4
Created date2019-02-19
Author order1
Corresponding authorfalse
Publication year2010
Symposium name2010年尖端科技材料論文比賽, 中華民國尖端科技材料協會
Publication city台中
Publication country中華民國
Start date2010-10-16
End date2010-10-16
Review system
LanguageTraditional Chinese