本發明係提供一種薄膜電阻合金，係包含：以原子百分比計為1~30%的釔、20~30%的鉻以及7~12%的錳，其餘量為鎳。本發明薄膜電阻合金得以在低溫度電阻係數下，大幅提高其電阻率，以達到增加該薄膜電阻合金的應用性之功效。本發明目的係係為一種薄膜電阻合金，使該薄膜電阻合金具備較高的電阻值。